多晶硅是太陽能和微電子工業(yè)的關(guān)鍵原材料。隨著我***太陽能產(chǎn)業(yè)的快速發(fā)展，對多晶硅的需求也在不斷增加。目前，多晶硅技術(shù)比以往任何時候都更加活躍。主要有西門子、冶金、等離子、硅烷、流化床、熔鹽電解、無氯技術(shù)。西門子方法是通過汽相沉積法生產(chǎn)柱狀多晶硅。為了提高原料的利用率，采用閉環(huán)生產(chǎn)工藝改進(jìn)了西門子方法。后的西門子生產(chǎn)能力約占世界總產(chǎn)量的80%。

　　在西門子法律體系中，對高純度多晶硅的制備有很多研究。等采用催化化學(xué)氣相沉積法制備多晶硅薄膜。研究了流化床中多晶硅的微觀結(jié)構(gòu)和顆粒生長，并對多晶硅的生產(chǎn)工藝進(jìn)行了碳熱還原法、區(qū)域熔融法等研究。采用碳熱還原法將高純度碳還原二氧化硅制成多晶硅，區(qū)域熔融法是利用金屬定向凝固原理，將金屬級硅凈化為太陽能硅。

　　氯硅烷分離純化過程中蒸餾塔排放的廢氣含有氯硅烷、氮、硅烷、氫、氮、氯、氯化氫的多晶硅還原爐更換清洗氣體和多晶硅還原爐排放瓦斯事故,被送到廢氣洗滌器組,()在鹽酸溶液洗滌水、廢氣的氯硅烷與水反應(yīng)和刪除: